二氧化钒薄膜的离子辐照效应及其光电性能研究

发布时间：2022-01-14 09:49

　　VO₂薄膜具有良好的热致相变特性,在68℃附近发生绝缘-金属态转变（MIT）,并伴随着结构、光学、电学和磁学等性质的突变,因其在高低温环境下显著的红外调控效果引起了广大研究者的高度重视,在智能窗领域有很好的应用前景。但要完成VO₂薄膜在该领域的成功应用需要解决低温沉积、降低相变温度、提高可见光透射率及薄膜颜色与环境色调匹配等问题。本文针对直流反应磁控溅射制备智能窗领域应用的VO₂薄膜,采用等离子体辐照后处理技术,研究降低相变温度和提高可见光透射率的等离子体处理参数。通过直流反应磁控溅射法在钠钙玻璃基底上制备完成VO₂薄膜样品。利用Ar/O2等离子体对VO₂薄膜进行表面辐照,分别改变等离子体辐照相关参数研究其对VO₂薄膜光电特性的影响变化趋势,研究内容包括:（1）研究了 Ar/O2混合等离子体处理辐照功率对VO₂薄膜光电特性影响。在氩氧比为100:50的等离子体中,分别在不同功率密度（0-550W）下对VO₂薄膜表... 

【文章来源】：深圳大学广东省

【文章页数】：66 页

【学位级别】：硕士

【图文】：

离子去胶机及操作原理图

【参考文献】：
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硕士论文
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本文编号：3588290