高速大行程宏微复合运动平台的振动抑制与精密定位方法研究

发布时间：2022-01-14 14:27

　　<正>随着IC封装不断向高密度、高效率、高精度的方向发展,其封装装备需实现高速高加速（加速度达8～15g）频繁往复运动下的快速精密定位。高动态运动使其在定位过程中的惯性振动难以在短时间内衰减,影响工作效率;而高加减速过程的宏微切换易产生冲击、分叉等非线性问题,影响后续精密操作;在高频高动态精密定位过程,系统则面临时空耦合、信号突变、干扰等问题,影响平台高精度定位。针对这类问题,设计了新型宏微复合运动平台,提出了基于高频瞬态作用的惯性振动快 

【文章来源】：机械工程学报. 2020,56(11)北大核心EICSCD

【文章页数】：1 页

【参考文献】：
博士论文
[1]倒圆角弹片式柔性铰链非线性变形分析、优化与应用[D]. 李瑞奇.广东工业大学 2021



本文编号：3588668