激光定域去除制备金属网格型透明电极的研究

发布时间：2023-03-26 18:54

　　金属网格型透明电极具有导电性好、透光率高、可挠曲性好、原材料易于获取等优势,被广泛应用于触摸屏、太阳能电池、液晶显示器、有机发光二极管(OLED)等器件。随着对综合光电性能更加优异的金属网格型透明电极需求的不断增加,人们对制备方法不断进行升级创新。现有制备金属网格型透明电极的方法或多或少地存在着一些问题,而关于利用激光定域去除制备形状可调的金属网格型透明电极的研究却鲜有报道。基于此,本文提出利用激光定域去除(即选择性激光烧蚀)制备金属网格型透明电极,研究了激光定域去除参数和网格阵列参数对金属网格型透明电极的制备与性能的影响,获得了部分有意义的结果。1、采用532 nm纳秒脉冲激光对通过磁控溅射技术沉积在玻璃基底上的Ag薄膜进行激光烧蚀去除,在单次和多次扫描条件下,系统性地研究了不同激光能量密度和离焦量组合对100 nm厚Ag薄膜上激光烧蚀凹槽宽度和深度的影响以及扫描次数对600 nm厚Ag薄膜上激光烧蚀凹槽宽度和深度的影响,并探讨了激光烧蚀去除的机理。结果表明,根据辐照在Ag薄膜表面单位面积激光能量的不同,去除机制主要可分为激光诱导热弹力去除和薄膜材料的汽化去除,激光诱导热弹力去除主要...

【文章页数】：84 页

【学位级别】：硕士

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摘要
Abstract
第一章 绪论
    1.1 引言
    1.2 透明电极的分类及特点
        1.2.1 金属氧化物基透明电极
        1.2.2 碳基透明电极
        1.2.3 纳米银线型透明电极
        1.2.4 金属网格型透明电极
    1.3 金属网格型透明电极的制备方法
        1.3.1 光刻法
        1.3.2 纳米压印法
        1.3.3 喷墨印刷法
        1.3.4 模板法
        1.3.5 流涂法
        1.3.6 激光直写法
    1.4 本论文的意义和主要研究内容
        1.4.1 论文的研究意义
        1.4.2 主要研究内容
第二章 激光去除宽度与深度的控制研究
    2.1 引言
    2.2 实验部分
        2.2.1 实验材料
        2.2.2 Ag薄膜/玻璃样品的制备
        2.2.3 激光定域去除系统
        2.2.4 样品的表征和测试
    2.3 结果与讨论
        2.3.1 单次扫描对激光烧蚀凹槽宽度和深度的影响
        2.3.2 单次/多次扫描对激光烧蚀凹槽宽度和深度的影响
    2.4 本章小结
第三章 激光去除区域边缘质量的优化研究
    3.1 引言
    3.2 实验部分
        3.2.1 Ag薄膜/玻璃样品的制备
        3.2.2 激光定域去除系统
        3.2.3 激光扫描方式示意图
        3.2.4 样品的表征与测试
    3.3 结果与讨论
        3.3.1 扫描速度对激光烧蚀凹槽边缘质量的影响
        3.3.2 扫描间隔对激光烧蚀图案边缘质量的影响
        3.3.3 扫描方式对激光烧蚀图案边缘质量和透光率的影响
    3.4 本章小结
第四章 Ag网格型透明电极的制备及性能研究
    4.1 引言
    4.2 实验部分
        4.2.1 Ag薄膜/玻璃样品的制备
        4.2.2 激光定域去除制备Ag网格阵列示意图
        4.2.3 样品的表征与测试
    4.3 结果与讨论
        4.3.1 网格高度对Ag网格型透明电极形貌和光电性能的影响
        4.3.2 网格间隔对Ag网格型透明电极形貌和光电性能的影响
        4.3.3 网格线宽对Ag网格型透明电极形貌和光电性能的影响
        4.3.4 扫描方式对Ag网格型透明电极形貌和光电性能的影响
    4.4 本章小结
第五章 总结与展望
    5.1 工作总结
    5.2 工作创新点
    5.3 工作展望
参考文献
致谢
硕士期间发表的学术论文和专利
硕士期间参与的科研项目



本文编号：3771515