透明导电薄膜表面抗反射层/结构的制备及其光电性能研究

发布时间：2023-05-27 02:13

　　透明导电氧化物(TCO)薄膜以其优异的光电性能被广泛应用于各行各业,在薄膜太阳能电池这一方面尤为突出。随着薄膜太阳能电池的飞速发展,对于具有高透光且导电性能优良薄膜的实际需求日益激增,许多研究人员把目光集中到具有优异光电性能的新型薄膜制备上。现有对于这类薄膜的制备方法大多比较复杂或者是缺乏对于薄膜性能的系统化分析研究,而关于TCO薄膜表面抗反射层/结构的制备及其光电性能研究却鲜有报道。基于此,本文提出通过激光处理掺氟二氧化锡(FTO)和掺铝氧化锌(AZO)薄膜并结合镀膜工艺,在薄膜表面制备出抗反射层/结构,系统研究了制备方法、相关机理以及沉积膜层厚度和激光参数对薄膜光电性能的影响,获得了一些具有意义的研究结果。1、采用532 nm纳秒脉冲激光对沉积AZO驱动层以及Ag膜层的网格FTO薄膜进行激光去除,在固定激光参数的条件下,系统研究了AZO驱动层以及Ag层厚度对薄膜样品表面形貌、晶体结构以及光电性能的影响,并对AZO驱动层机理和Ag纳米粒子(Ag NPs)抗反射效果进行了探讨分析。实验结果显示,不同AZO驱动层和Ag层厚度会使薄膜表面槽内形成不同尺寸和不同分布规律的Ag NPs,这些A...

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
abstract
第一章 绪论
    1.1 引言
    1.2 透明导电氧化物薄膜的概述
        1.2.1 透明导电氧化物薄膜的发展历史
        1.2.2 透明导电薄膜的分类
    1.3 抗反射层/结构的作用
    1.4 抗反射层/结构的制备方法
        1.4.1 电化学沉积法
        1.4.2 喷涂/旋涂法
        1.4.3 激光诱导法
        1.4.4 光刻法
    1.5 本论文的研究意义和主要研究内容
        1.5.1 论文研究意义
        1.5.2 论文主要研究内容
第二章 实验材料、设备和表征测试
    2.1 实验材料与设备
        2.1.1 实验材料
        2.1.2 主要实验设备
    2.2 主要表征和测试设备
        2.2.1 结构和形貌表征
        2.2.2 性能测试
第三章 FTO薄膜表面抗反射Ag纳米粒子的制备及其光电性能研究
    3.1 引言
    3.2 实验部分
    3.3 结果与讨论
        3.3.1 表面形貌和成分组成分析
        3.3.2 AZO驱动层机理分析
        3.3.3 晶体结构分析
        3.3.4 透射光谱分析
        3.3.5 反射光谱分析
        3.3.6 电学性能分析
        3.3.7 综合光电性能分析
    3.4 本章小结
第四章 AZO薄膜表面激光刻蚀单向光栅抗反射结构及其光电性能研究
    4.1 引言
    4.2 实验部分
        4.2.1 AZO薄膜样品的预处理
        4.2.2 AZO薄膜表面刻蚀光栅结构的制备及参数选择
    4.3 结果与讨论
        4.3.1 激光刻蚀光栅结构离焦量的选择
        4.3.2 激光刻蚀光栅结构扫描速度的选择
        4.3.3 线间距对刻蚀光栅结构的影响
        4.3.4 能量密度对刻蚀光栅结构的影响
    4.4 本章小结
第五章 AZO薄膜表面激光刻蚀双向光栅抗反射结构及其光电性能研究
    5.1 引言
    5.2 实验部分
    5.3 结果与讨论
        5.3.1 表面形貌对比分析
        5.3.2 晶体结构对比分析
        5.3.3 透射光谱对比分析
        5.3.4 反射光谱对比分析
        5.3.5 电学性能对比分析
        5.3.6 综合光电性能对比分析
    5.4 本章小结
第六章 总结与展望
    6.1 工作总结
    6.2 工作创新点
    6.3 工作展望
参考文献
致谢
硕士期间发表的学术论文和专利
硕士期间参与的科研项目



本文编号：3823694