超声引线键合中复合变幅杆的优化设计

发布时间：2017-07-03 22:16

  本文关键词：超声引线键合中复合变幅杆的优化设计

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【摘要】：超声波变幅杆的结构影响键合质量,通过纵向声波在变幅杆中的波动方程,建立了振动位移数学模型及振幅放大系数模型。以变幅杆的许用强度为约束条件,放大系数为优化目标,构建了变幅杆机构的优化设计数学模型,并进行了实例分析,为变幅杆实际应用奠定了理论基础。
【作者单位】： 苏州大学机器人与微系统研究中心&苏州纳米科技协同创新中心;
【关键词】： 超声波 变幅杆 放大系数 优化设计 数学模型
【基金】：国家863计划项目(2011AA040404) 高等学校博士学科点专项科研基金(20133201110009) 新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-13-0923)资助
【分类号】：TB552
【正文快照】： 高等学校博士学科点专项科研基金(20133201110009)、新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-13-0923)资助引线键合由于成本低、工艺简单、灵活、可靠性高及完善的互连解决方案,是MEMS器件最常用的封装形式之一[1]。图1为用于MEMS封装的引线键合设备,其工作原理首先是显微视觉机构识

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10 刘W，

本文编号：515354