TiN硬质薄膜制备技术的研究进展

发布时间：2017-07-29 04:22

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【摘要】：TiN硬质薄膜因其优良性能而得到广泛应用。介绍了几种制备TiN硬质薄膜的新方法,分析了制备机理及其工艺特点,并展望了硬质薄膜制备技术的发展方向。
【作者单位】： 北京科技大学天津学院;
【关键词】： TiN 硬质薄膜 制备
【分类号】：TB43
【正文快照】： 涂层刀具的出现和应用是金属切削刀具发展史上的一次革命。将超硬薄膜材料镀覆于金属切削刀具表面而制成的涂层刀具,适应了现代制造中高速切削、干式切削及微润滑切削等对高性能切削刀具的技术要求,提高了金属切削刀具在现代机械加工过程中的耐用度和适应性[1],使难加工材料的

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本文编号：587489