类金刚石薄膜的摩擦性能及其应用
本文关键词：类金刚石薄膜的摩擦性能及其应用
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【摘要】：首先从成键结构的角度分析了DLC薄膜摩擦性能的由来,然后分别从DLC薄膜的沉积工艺(包括制备方法、气源种类和掺杂元素)、摩擦环境条件和基底材料选择等三方面入手,讨论了影响DLC薄膜摩擦性能的主要因素及其影响规律。经过总结发现,通过调节DLC薄膜的沉积工艺可以改变DLC薄膜中sp~2杂化碳的含量以及氢的含量,进而影响DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性气体和低湿环境有利于获得更好的摩擦效果;过渡层和偏压有利于提高DLC薄膜与基底之间的附着力,其摩擦性能也会得到提升。最后对DLC薄膜在机械加工及耐磨器件、光学和电子保护以及生物医学领域的应用进行了综述,并对应用过程中存在的两大问题——DLC薄膜的内应力和热稳定性进行了分析,归纳了一些具体的解决方案,并对DLC薄膜的发展趋势进行了展望。
【作者单位】： 武汉工程大学材料科学与工程学院;等离子体化学与新材料湖北省重点实验室;
【关键词】： 类金刚石薄膜 摩擦性能 摩擦系数 固体润滑薄膜 附着力
【基金】：国家自然科学基金项目(51402220) 武汉工程大学青年基金(Q201401)~~
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是一种亚稳态的非晶碳膜,其包含的碳原子轨道进行sp2和sp3两种杂化相结合,因此它兼具了金刚石和石墨的一些优良特性,如较高的硬度、良好的化学稳定性及生物兼容性、优良的红外透光性能、超低的摩擦系数和极好的耐磨性能[1—5],在轴承、
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本文编号：617565
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