飞秒激光测量微纳材料热物性参量研究进展

发布时间：2017-08-16 10:10

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【摘要】：随着微纳加工技术的发展,微纳尺度下材料的热物性参量测量变得尤为重要。首先介绍了飞秒激光测量微纳尺度下材料热物性参量的基本原理、测量系统的实现方法,对比了所采用的双温模型、双曲两步辐射模型、双曲一步模型、抛物一步模型、双相滞模型和抛物两步模型等主要的传热模型。其次,介绍了飞秒激光测量物性参量的基本特点。然后,介绍了单波长正面抽运与探测系统、双波长正面抽运及探测和加热探测不同侧3种常见结构的飞秒激光物性测量系统。最后,展望了飞秒激光物性测量的研究方向。
【作者单位】： 中国工程物理研究院材料研究所;
【关键词】： 超快光学 飞秒激光 微纳尺度 物性测量
【分类号】：TB94;TN249
【正文快照】： 引言随着微电子和微纳加工技术的飞速发展,微纳尺度半导体、金属器件的热学性质也受到了越来越多的关注,对其表面和表面下微纳结构进行准确的定量分析和预测将直接影响到微纳米器件的热设计以及热管理[1]。微纳尺度下材料的物性和体材料有着较大差别[2],因此需要对微纳尺度下

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本文编号：682682