聚合物微结构超声压印精密加工系统研究

发布时间：2017-08-21 02:00

  本文关键词：聚合物微结构超声压印精密加工系统研究

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【摘要】：超声压印技术是一种聚合物微结构成形的新方法。针对微米级超声加工系统的高精度和高可靠性的要求,设计了用于聚合物微结构超声压印的精密加工系统,推导了换能器动力学模型并求解特征参数,进行了有限元仿真与优化,并搭建了基于压力反馈的精密压印测控平台。实验结果与理论分析结果吻合,设计的换能器系统改善了微米级加工中的加工精度、能量控制和可靠性,为快速批量精密压印成形的加工系统提供了设计和优化方法。
【作者单位】： 华东理工大学机械与动力工程学院;
【关键词】： 超声压印 换能器 频率方程 有限元 柔性电子
【基金】：中央高校基本科研业务费基金资助项目(WG1514031)
【分类号】：TB559
【正文快照】： 0引言聚合物材料柔性微机电系统(MEMS)器件具有质量轻,抗腐蚀,绝缘性能好及成形效率高等优点,在精密仪器、柔性电子、生物分析芯片等领域有广阔的应用前景[1]。聚合物热压印技术是近年发展起来的一种高效率、低成本的微结构复制方法,但是热压成形需要将基片的温度加热到玻璃转

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本文编号：710134