退火处理对MgO薄膜性能的影响

发布时间：2017-08-21 20:06

  本文关键词：退火处理对MgO薄膜性能的影响

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【摘要】：采用磁控溅射法在石英衬底上制备了MgO薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了MgO薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能更佳,表面更加平整。此外,通过紫外-可见光分光光度计研究了MgO薄膜光学特性的变化,发现随着薄膜退火温度的升高,可见光透射率下降,光学带隙值逐渐减小。
【作者单位】： 南京邮电大学电子科学与工程学院;南京大学(苏州)高新技术研究院;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心;
【关键词】： MgO薄膜 退火处理 光学特性 磁控溅射
【基金】：江苏省自然科学基金青年基金(BK20130376,BK20130855) 国家自然科学基金(51172110,11405089) 江苏省高校自然科学研究资助项目(13KJB140012) 苏州市科技局纳米技术专项基金(ZXG201444) 江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(2014-XCL-015) 南邮校级科研项目(NY214131)
【分类号】：TB383.2;TQ132.2
【正文快照】： 0引言MgO晶体为岩盐结构,是一种面心立方晶体,具有许多优良性质。其晶格常数和某些钙钛矿结构的材料十分相近,且热稳定性好,绝缘性强,适合作为高温超导氧化物[1]、铁电材料[2]和高磁阻材料[3]的缓冲层使用。同时,MgO薄膜因其二次电子发射系数高、抗溅射能力强[4]以及光透性好

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本文编号：714841