单层柱状结构薄膜体散射的理论研究

发布时间：2017-08-22 19:19

  本文关键词：单层柱状结构薄膜体散射的理论研究

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【摘要】：电子束蒸发的单层光学薄膜具有明显的柱状结构,薄膜内部折射率的变化较大,由此引起的体散射现象也较明显。基于一阶电磁微扰理论,建立了单层光学薄膜的体散射理论模型,分析了膜层厚度、入射光偏振态、柱状结构因子、非均质性对体散射的影响。研究了纯柱状结构下,电子束蒸发的单层二氧化铪(Hf O2)薄膜体散射的角分布散射值(ARS)随着膜层厚度的变化规律,结果表明纯柱状结构Hf O2薄膜体散射的ARS量级与表面散射完全非相关模型的ARS值相近,并且在特定的膜厚范围内,体散射的ARS值随着膜厚的增大而增大。对于非均质性薄膜,当非均质性一定时,体散射的ARS值随着膜厚的增大而增大;当膜层厚度一定时,体散射的ARS值随着非均质性绝对值的增大而减小。
【作者单位】： 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室;光驰科技(上海)有限公司;
【关键词】： 薄膜 体散射 一阶微扰理论 柱状结构因子 非均质性
【基金】：国家自然科学基金(U1430130,61235011) 中央高校基本科研业务费专项资金
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 1引言光学薄膜的散射现象已经引起了广泛的研究,主要原因是散射引起的损耗会影响光学薄膜的性能,其次是通过光散射研究可以非接触、非破坏性地分析薄膜的微结构信息[1]。薄膜散射可分为体散射和表面散射。表面散射主要来自薄膜界面的微观粗糙结构,而体散射主要起源于薄膜内部

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1 张本爱;杜祥琬;;三体散射问题的一种解法探讨[A];第五次核物理会议资料汇编（下册）[C];1982年

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本文编号：720938