适应复杂环境的真空计

发布时间：2017-09-01 11:37

  本文关键词：适应复杂环境的真空计

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【摘要】：采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。
【作者单位】： 合肥工业大学机械工程学院;杭州华达喷射真空设备有限公司;
【关键词】： 电荷屏蔽 饱和水蒸汽 电容薄膜真空计 单片机控制系统
【分类号】：TB772
【正文快照】： 设计复杂环境下精确测量低真空度真空计测量仪器,电容薄膜真空计的改进是测量系统设计的核心。众所周知,电容薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量工作副标的一种真空仪器,其工作原理是:把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再

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本文编号：771863