涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析

发布时间：2017-09-10 18:12

  本文关键词：涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析

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【摘要】：采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算效率。分别采用涡轮叶片几何中值参数计算方法、沿涡轮叶片齿长逐段积分方法,对单级涡轮叶片和涡轮分子泵的抽气性能进行了计算,并与实验结果进行了对比。发现:采用涡轮叶片几何中值参数计算涡轮叶片抽气性能存在误差,对涡轮分子泵抽气性能的计算值偏高,其计算误差远大于分段积分法的计算误差,后者更适用于对分子泵抽气性能的设计计算。
【作者单位】： 东北大学机械工程与自动化学院;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所;
【关键词】： 涡轮分子泵 传输几率 数据回归 抽气性能 误差分析
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ130429)
【分类号】：TB752.27
【正文快照】： 涡轮分子泵是一种高速旋转的精密动量传输式真空栗,操作简单、启动时间短,在分子流态区域内对各种气体均具有较大的抽速,可以获得(准)清洁的高真空和超高真空环境,广泛应用于高能加速器、重粒子加速器、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、真空镀膜等领域[1_5]。 涡

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