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掺硼质量浓度对BDD电极电化学特性的影响

发布时间:2017-09-10 21:25

  本文关键词:掺硼质量浓度对BDD电极电化学特性的影响


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【摘要】:掺硼金刚石(BDD)薄膜电极析氧电位高、背景电流小、耐腐蚀的特性,使其在电化学应用方面受到广泛关注。采用热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,在钽基底上制备了不同掺硼质量浓度的金刚石薄膜电极,通过扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜表面形貌,利用循环伏安法研究了电极的电化学特性。结果表明:掺硼质量浓度为2 g/L时,制备的薄膜电极质量最好,晶粒尺寸最大,电势窗口达到3.99 V;继续增大掺硼质量浓度,粒径减小,薄膜质量变差,电势窗口逐渐减小。BDD电极在酸、盐、碱性溶液中的析氧电位分别为2.11,1.82和0.86 V,呈递减趋势。
【作者单位】: 河北工业大学电子信息工程学院;天津市电子材料与器件重点实验室;
【关键词】掺硼金刚石电极 电势窗口 析氧电位 掺硼质量浓度 热丝化学气相沉积(HFCVD)
【基金】:国家科技重大专项资助项目(2009ZX02308,2014ZX02301003) 河北省博士后择优资助项目(B2015003010)
【分类号】:TB383.2;O646
【正文快照】: 2.天津市电子材料与器件重点实验室,天津300130)0引言金刚石特殊的晶体结构决定了它具有诸多优异的物理化学性质,其在电学、光学、声学、热学以及电化学方面的应用受到广泛关注[1],因此,越来越多的科研工作者致力于金刚石薄膜的研究。热丝化学气相沉积(hot filament chemical

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本文编号:826737

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