光学相干层析成像用于缺陷检测研究

发布时间：2017-09-15 18:04

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【摘要】：为了对薄膜进行无损的缺陷检测,采用了谱域光学相干层析成像的方法,进行了理论分析和实验验证,分别获得了质量完好和存在缺陷两种薄膜样品的一维深度和二维层析图像。由二维层析图像可以对薄膜的缺陷位置进行精确定位,并且可以对缺陷尺寸进行测量。实验结果表明,谱域光学相干层析成像技术可以为无损缺陷检测提供有效的技术手段。
【作者单位】： 渭南师范学院物理与电气工程学院;陕西省X射线检测与应用研究开发中心;
【关键词】： 测量与计量 光学相干层析成像 薄膜 缺陷检测
【基金】：陕西省教育厅科研计划项目(15JK1252,15JK1380) 陕西省军民融合研究基金项目(15JMR12) 渭南师范学院科研计划项目(14YKS009,15ZRRC08);渭南师范学院特色学科建设项目(14TSXK07)
【分类号】：TP391.41;O484.41
【正文快照】： 薄膜生长或沉积过程中由于受到基片表面的污渍、基片固有缺陷等因素的影响,极易造成薄膜表面和内部结构的质量缺陷。根据检测原理的不同,薄膜的缺陷检测方法主要分为涡流探测、超声波检测和磁场探测等。由于被测薄膜性质的不同,传统检测方法的测量精度和应用领域受到不同程度

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本文编号：858052