AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展

发布时间：2017-09-23 12:38

  本文关键词：AZO透明导电薄膜光电性能的研究进展

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【摘要】：掺铝氧化锌(AZO)薄膜其原料来源广、经济无毒,且具有优越的光电性能,可以与传统铟锡氧化物(ITO)薄膜相媲美,是优良的透明导电材料。目前,关于各制备工艺参数对AZO薄膜的影响规律及其影响机理仍是研究热点。综述了透明导电AZO薄膜光学与电学性能的研究进展,讨论了各制备工艺条件对薄膜性能的影响,分析了AZO/metal/AZO多层膜的研究现状,并对AZO薄膜的研究方向给予了展望。
【作者单位】： 昆明理工大学材料科学与工程学院;广州有色金属研究院新材料研究所;广东省现代表面工程技术重点实验室;现代材料表面工程技术国家工程实验室;
【关键词】： AZO薄膜 磁控溅射 光电性能 AZO/metal/AZO多层膜
【基金】：国家自然科学基金(51302044) 广东省金属平台创新建设(2013B091602002)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 透明导电氧化物(TCO)具备优良的导电性和在可见光波长范围内的高透过率等性能,在显示、新能源、智能技术领域中体现出极大的优越性,如光电子器件、薄膜太阳能电池、表面声波(SAW)器件、液晶显示器(LCDs)和传感器等[1-3]。目前,市场上占主导地位的TCO材料仍为铟锡氧化物(ITO),，

本文编号：905322