主轴微细超声振动系统的微振幅测量

发布时间：2017-09-29 03:05

  本文关键词：主轴微细超声振动系统的微振幅测量

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【摘要】：在微细超声加工与微细超声振动辅助加工中,微振幅是关键的加工参数,直接影响到加工精度与加工效率。对于只有几μm甚至更小的振幅,很难用传统的振幅测量方法测量出来。针对主轴微细超声振动系统输出的微振幅,提出了一种新的微振幅在线测量方法。利用精密微三维运动平台的高分辨率,将平台A轴的运动与微细工具所受实时力结合起来,使其形成闭环运动控制系统。通过设定相同的接触力,计算有超声与无超声作用于微细工具A轴坐标值的变化,即可获得微细工具的振幅值。应用这一新的振幅测量方法,成功地测量出精确到0.1μm的振幅值。
【作者单位】： 岭南师范学院机电工程研究所;广东工业大学机电工程学院;
【关键词】： 微振幅 测量 微细超声振动系统 微三维运动平台 闭环控制
【基金】：岭南师范学院自然科学研究项目(ZL1502);岭南师范学院“新材料与先进制造”协同创新中心项目(CIL1504)
【分类号】：TB53
【正文快照】： 0引言超声加工以及超声辅助加工中,超声振幅是一个关键的加工参数,关系到加工效率与加工精度,甚至是实验的成败,因此,实现对超声振幅的测量至关重要。目前适合于振幅测量的方法主要有:物理观察法[1-2]、电测法[3]、光学法[4-5]等。物理观察法主要是利用高频振动特性及视觉滞留

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本文编号：939592