掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

发布时间：2017-10-03 20:40

  本文关键词：掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

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【摘要】：采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO(掺钛氧化锌)薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO薄膜所需靶材的最佳条件。测试结果表明,所有样品均为具有c轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1 500℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区(400~760nm)有较高的平均透过率91.16%,较低电阻率1.07×10-4Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率。
【作者单位】： 广西大学物理科学与工程技术学院;广西大学行健文理学院;
【关键词】： 掺钛氧化锌薄膜 磁控溅射 保温时间 微结构 光电性能
【基金】：国家自然科学基金资助项目(11265002) 广西自然科学重点基金资助项目(2010GXNSFD013036) 广西大学行健文理学院科研基金资助项目(2014ZKLX01)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 1引言氧化物透明导电薄膜(TCO)由于在可见光区的透过率超过80%、电阻率低于10-3Ω·cm等方面存在优越的光电性能,因而在液晶显示、太阳能电池、发光二极管、防静电、防微波辐射等领域有着广泛应用,并已经成为透明导电膜的主角之一[1]。目前在TCO家族中,掺锡氧化铟透明导电薄膜

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