现场真空校准装置性能研究

发布时间：2017-10-07 14:37

  本文关键词：现场真空校准装置性能研究

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【摘要】：研制了一台校准范围为10~(-5)~10~5Pa的现场真空校准装置。将不同种类单一成分的校准气体引入装置上游室,通过几何尺寸为微米量级激光小孔的衰减,建立校准用标准压力p_(std)。上游室压力变化范围为1~10~3Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10~(-5)~10~(-2)Pa(N2),测量不确定度为2.4%。另外,该装置可采用与标准真空计直接比较进行动态或静态校准,其极限真空度为10~(-6)Pa量级。对装置暴露大气后的抽气性能、静态压升及其主要计量特性进行了实验研究。实验结果表明,该装置外形尺寸以及质量分别为475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校准范围为1.9×10~(-5)~1.0×10~5Pa,相对合成标准不确定度为2.8%~0.40%。
【作者单位】： 兰州空间技术物理研究所;
【关键词】： 现场校准 压力衰减法 直接比较 计量特性
【分类号】：TB77
【正文快照】： 近年来,由于航天、船舶、兵器等国防工业以及科研领域的诸多真空应用需求在促使真空计量技术参数扩充、量限拓展的同时,更着力于解决真空原位测量准确性的问题[1]。高能加速器、大型空间环模设备、集成电路生产线等真空计使用单位提出,实验室校准在稳定、平衡(静态或动态)的状

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本文编号：988414