衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响

发布时间：2017-10-08 11:12

  本文关键词：衬底材料对Ti膜形貌及结构的影响

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【摘要】：使用电子束蒸发法在抛光Mo、石英和单晶硅衬底上沉积Ti薄膜,并用SPM、XRD及SEM对衬底及薄膜的表面形貌和微观结构进行了分析。结果表明:Ti膜的表面形貌和微观结构受衬底材料影响较大。抛光Mo衬底上的Ti膜表面有微小起伏,断面处发现Ti膜先在衬底形核,后以柱状颗粒的形式竖直向上生长;抛光石英衬底上的Ti膜表面平整,颗粒与界面清晰可见,在界面处有一层等轴晶;粗糙度最低的单晶硅基片上沉积的Ti膜表面反而最粗糙,通过XRD分析发现有TiSi_2的峰存在。
【作者单位】： 中国工程物理研究院;
【关键词】： 衬底 储氢薄膜 电子束热蒸发 形核 薄膜生长
【基金】：中国工程物理研究院科学技术发展基金项目(2011B0103015)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 固态薄膜以其独特的性质和功能受到人们越来越多的重视,影响膜结构的因素有沉积方式[1]、衬底结构、衬底温度[2]以及沉积速率[3]等。Ti薄膜具有良好的储氢性能[4],抗氢脆性能力强,材料丰度高成本较低廉,作为储氢材料广泛用于工业生产。同时Ti的氢同位素效应也使其成为核工业中

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本文编号：993686