等刚度高灵敏探头弹性机构设计

发布时间：2017-10-12 20:05

  本文关键词：等刚度高灵敏探头弹性机构设计

  更多相关文章： 弹性机构 微纳米三坐标测量机 刚度

【摘要】：针对微型和小型元件的测量问题,设计了一种微纳米三坐标测量机的接触式探头高灵敏弹性机构。弹性机构由铍铜合金簧片、铝合金悬浮片、钢混合玻璃纤维探针以及红宝石测球构成。当测球与被测物体接触时,簧片产生弹性形变,根据弹性理论对弹性机构进行分析并对尺寸进行优化设计,得出弹性机构的刚度可以达到0.110 m N/μm以下。最后通过ANSYS软件对弹性机构进行仿真验证,分析结果的正确性并得出结论。
【作者单位】： 安徽电气工程职业技术学院;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【关键词】： 弹性机构 微纳米三坐标测量机 刚度
【基金】：安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2015A410) 安徽电气工程职业技术学院重点科研项目(2015zdxm06,2015zdxm05)
【分类号】：TH721
【正文快照】： 由于现代先进机械制造业不断向高精密领域发展,电火花加工、激光加工等精密与超精密、微细与超微细加工技术越来越广泛的应用于现代制造业[1-2]。当零件的尺寸在厘米量级且精度要求在微米级甚至以下时,传统的三坐标测量机便不能满足测量的要求[3],所以研制测量范围小、测量精

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 钱剑钊;黄强先;李瑞君;龚伟;王志伟;王晨晨;;纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定(英文)[J];传感技术学报;2012年05期

2 刘芳芳;费业泰;夏豪杰;;纳米坐标测量机的三维接触式测头机构[J];纳米技术与精密工程;2011年03期

3 陈贺;陈晓怀;王珊;杨桥;李瑞君;;微纳米测量机测头结构的参数设计及分析[J];计量学报;2013年05期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 李瑞君;纳米三坐标测量机三维大量程接触扫描探头系统的研制[D];合肥工业大学;2013年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前6条

1 周斌;王鹏宇;陈晶;张雅雯;李瑞君;;等刚度高灵敏探头弹性机构设计[J];齐鲁工业大学学报(自然科学版);2017年01期

2 李伟伟;李雅宁;白伟;;精密接触扫描测头机械系统关键技术研究[J];现代制造技术与装备;2016年01期

3 陈贺;金珍;王榜;胡宇飞;曹杰;于桂阳;朴炳仁;李恒滨;;基于光电检测的IC绑定压头系统设计[J];机械制造与自动化;2015年06期

4 裘祖荣;陈波;李杏华;;基于反转法的平行双关节坐标测量机的标定[J];天津大学学报(自然科学与工程技术版);2014年06期

5 陈晓怀;陈贺;王珊;李瑞君;高伟;;微纳测量机测头弹性结构的参数设计[J];光学精密工程;2013年10期

6 陈贺;陈晓怀;王珊;杨桥;李瑞君;;微纳米测量机测头结构的参数设计及分析[J];计量学报;2013年05期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 刘辰光;基于中介层散射原理的共焦显微测量技术及理论研究[D];哈尔滨工业大学;2016年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 陈贺;陈晓怀;;微纳米测量机工作台的结构及性能分析[J];组合机床与自动化加工技术;2012年11期

2 何武光;王豹亭;杨春平;康美苓;吴健;;新型零差激光干涉仪测量误差因素分析[J];计量学报;2012年03期

3 蔡轶珩;向大超;石照耀;韩欣;;球内反射式光纤测头[J];仪器仪表学报;2011年12期

4 费致根;刘宇;郭俊杰;;一种平行片簧结构扫描测头的研制[J];郑州大学学报(工学版);2011年04期

5 刘芳芳;费业泰;夏豪杰;;纳米坐标测量机的三维接触式测头机构[J];纳米技术与精密工程;2011年03期

6 李源;栗大超;胡小唐;赵大博;郭彤;陈津平;;应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化[J];传感技术学报;2006年05期

7 范光照,朱志良,钟添东;小型微/纳米级三坐标测量机的研制[J];纳米技术与精密工程;2003年01期

中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 王晨晨;异端类型三坐标测量机结构原理及误差修正技术研究[D];合肥工业大学;2012年

2 程方;纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年

3 李源;MEMS压阻式三维微触觉测头及其在纳米测量机上的应用研究[D];天津大学;2007年

，

本文编号：1020638