一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计

发布时间：2017-12-01 14:12

  本文关键词：一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计

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【摘要】：针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大机构变形的主要因素;对直圆柔性铰链、平行板柔性铰链和倒圆角直梁型柔性铰链进行刚度计算;采用能量法和位移矩阵得出平行四边形位移放大机构输出力和载物台运动位移的计算公式;优化平台尺寸,并对优化后的结果进行有限元仿真和实验分析。实验后得到设计平台的工作空间尺寸为143.7μm×142.1μm,工作空间密度可达2.521μm~2/mm~2,与同类型平台相比,能够实现较大的工作空间密度。
【作者单位】： 东北大学机械工程与自动化学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61573093)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 0引言微纳定位技术是现代高新科技和现代工业中的一项关键技术,在微电子制造、生物医学、精密仪表、航空航天、超精密加工、通信定位、柔性精密传动等诸多领域有着广泛的应用[1]。近年来,对微纳定位技术提出了大行程、高精度、小体积和快速响应等更高的要求[2],因此,有必要提，

本文编号：1241369