非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计

发布时间：2017-12-24 06:03

  本文关键词：非焊接式纳米线机械性能测试器件结构设计　出处：《传感技术学报》2017年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：纳米线机械性能测试中,常见MEMS器件大都采用焊接或沉积方式固定纳米线,限制了器件寿命和测试重复性。针对焊接方式测试的不足,设计了一种非焊接式纳米线机械性能测试MEMS器件。在静电叉指和支撑梁结构的基础上,设计了利用梁刚度差进行夹紧和拉伸操作的结构,其中设计了V型结构以避免焊接纳米线。利用有限元仿真软件进行了仿真验证,确定了最优结构尺寸,V型缝隙夹角小于22.5°时能满足纳米线机械性能测试要求,所设计器件提高了测试器件的重复利用率。
【作者单位】： 上海大学机电工程与自动化学院;
【基金】：国家自然科学基金项目(61573236) 上海市科委基金项目(14JC1491500)
【分类号】：TB383.1;TH-39
【正文快照】： 一维纳米线作为机电系统、电路互连的重要基石,其机械性能的好坏将直接影响器件根本性能[1],而纳米线机械性能测试是一个非常复杂和困难的工作[2]。MEMS器件在纳米线测试方面具有一定优势,如体积小、受外界环境影响小等。国内外学者在这方面进行了很多探索,测得了诸多纳米线的

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本文编号：1327139