AFC在超精密加工中的谐波干扰控制研究

发布时间：2018-01-15 06:03

本文关键词：AFC在超精密加工中的谐波干扰控制研究　出处：《机械设计与制造》2017年11期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了提高微阵列表面自由曲面的超精密加工应用中的跟踪精度和抗干扰性,对周期性谐波扰动信号的观测结果作出实时估计和补偿,设计了一种自适应前馈误差消除(AFC)控制器。首先,分析了傅立叶级数的正弦和余弦信号组成影响系统的周期性谐波扰动信号。其次,详细地推导了自适应前馈误差消除算法,得出传递函数。然后,以自适应前馈误差消除控制器作为前馈控制器,应用PID作为反馈控制器,设计了复合控制器,并解释了工作流程。最后,数字仿真实验显示,自适应前馈误差消除控制具有较好的控制效果。
[Abstract]:In order to improve the tracking accuracy and anti-interference in ultra-precision machining of surface free-form surfaces of microarrays, real-time estimation and compensation of the observation results of periodic harmonic disturbance signals are made. An adaptive feedforward error cancellation (AFC) controller is designed. Firstly, the sine and cosine signals of Fourier series are analyzed, which affect the periodic harmonic disturbance of the system. The adaptive feedforward error cancellation algorithm is deduced in detail, and the transfer function is obtained. Then, the adaptive feedforward error cancellation controller is used as feedforward controller and PID is used as feedback controller. The composite controller is designed, and the workflow is explained. Finally, the digital simulation results show that the adaptive feedforward error cancellation control has a better control effect.
【作者单位】：广东金融学院互联网金融与信息工程系;
【基金】：广东省引进创新科研团队计划(201001G0104781202) 广东高校省级重点平台和重大科研项目(2015KQNCX104) 广东金融学院科研课题(15XJ02-04)
【分类号】：TH16;TP273
【正文快照】： 1引言超精密加工标志着一国制造业的尖端水平。当今世界上先进的加工精度水平已经达到纳米尺度。对于加工有微阵列表面、表面粗糙度纳米级、面形精度亚微米级的自由曲面,加工设备需具有高次轨迹联动控制能力、良好的高频动态响应性能和高分辨率[1]。针对这一需求,使用超精密金

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