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硅片真空传输平台前端真空室的研制

发布时间:2018-03-28 20:28

  本文选题:硅片 切入点:真空传输 出处:《组合机床与自动化加工技术》2017年09期


【摘要】:文章设计并研制了8英寸硅片真空传输平台,介绍了该传输平台的整体结构,并对关键模块前端传输腔室VCE中的CTA传输手托盘系统进行了选型设计、机构分析。垂直升降系统采用丝杠传动,CTA传输手采用平面四连杆机构增大刚度。对传输手主动杆强度和变形量进行了有限元仿真分析。经过重复运行精度实验测试,整个平台达到了硅片制造要求。
[Abstract]:This paper designs and develops an 8-inch silicon wafer vacuum transmission platform, introduces the whole structure of the transmission platform, and designs the CTA transmission hand tray system in the VCE of the key module front-end transmission chamber. Mechanism analysis. The vertical lifting system adopts the lead screw drive CTA transmission hand to increase the stiffness. The strength and deformation of the active rod of the transmission hand are simulated by finite element method. The whole platform meets the requirements of wafer manufacturing.
【作者单位】: 沈阳新松机器人自动化股份有限公司;
【基金】:国家科技重大专项02专项(2014ZX02103005)
【分类号】:TH16

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本文编号:1677913

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