MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

发布时间：2018-05-09 09:58

  本文选题：MEMS红外光源 + 辐射光谱　； 参考：《红外技术》2017年03期

【摘要】：MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中心波长位于3.6μm,该波段红外光具有接近90%的大气透过率;采用红外测温仪和热敏电阻对光源辐射体温度进行测试,结果显示所选MEMS红外光源温度特性优良,适用范围广泛。
[Abstract]:MEMS infrared light source is an infrared light source device based on MEMS manufacturing technology. In order to determine the radiation spectrum distribution and temperature characteristics of MEMS infrared light source, SR5000 spectrometer is used to test the radiation spectrum distribution characteristics of MEMS infrared light source. The data show that the infrared spectrum of the selected light source is mainly between 3 渭 m and 5 渭 m, and the center wavelength is 3.6 渭 m. The infrared light of this band has an atmospheric transmittance of nearly 90%. The infrared thermometer and thermistor are used to measure the temperature of the radiator of the light source. The results show that the selected MEMS infrared light source has good temperature characteristics and wide range of application.
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(51275492) 中国博士后科学基金(2013T60557,2012T52118) 江苏省博士后科研计划项目(1201038C)
【分类号】：TH-39;TN21

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本文编号：1865579