基于ANSYS的3种四杆柔性铰链机构刚度特性分析

发布时间：2018-06-11 15:23

  本文选题：单平行四杆柔性铰链机构 + 柔性铰链　； 参考：《机械传动》2017年05期

【摘要】：单平行四杆柔性铰链机构作为移动副被广泛用于超精密工作台、精密传感器中。超精密工作台依靠其变形产生位移,故刚度特性对其定位精度影响较大。针对3种不同类型的四杆柔性铰链机构,对其刚度进行理论计算,同时,基于有限元软件ANSYS 12.0分析了3种不同类型的四杆柔性铰链机构。通过比较、分析得出了不同的外形尺寸对于四杆柔性铰链机构刚度的影响程度以及3种机构之间的刚度关系,为确定3种机构的适用场合和在MEMS设计过程中柔性铰链的选用提供了依据。
[Abstract]:Single parallel four-bar flexure hinge mechanism is widely used as mobile pair in ultra-precision worktable and precision sensor. Because of the displacement caused by the deformation of the ultra-precision worktable, the stiffness characteristic has a great influence on its positioning accuracy. The stiffness of three kinds of four-bar flexure hinge mechanism is calculated theoretically. At the same time, three kinds of four-bar flexure hinge mechanism are analyzed based on finite element software ANSYS 12.0. Through comparison, the influence of different shape dimensions on the stiffness of four-bar flexure hinge mechanism and the stiffness relationship between three kinds of mechanisms are obtained. The results provide a basis for the selection of flexible hinges in MEMS design.
【作者单位】： 中国矿业大学机电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51305444) 教育部博士点基金(20120095120013) 江苏省科技计划项目(BY2014028-06)
【分类号】：TH112

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本文编号：2005758