MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计

发布时间：2018-06-18 18:10

  本文选题：微电子机械系统 + 半球谐振　； 参考：《半导体光电》2017年01期

【摘要】：微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。
[Abstract]:MEMS hemispherical resonator gyroscope is a research hotspot in MEMS micro gyroscope field. It can work in angular velocity integral mode. It has the advantages of small volume, light weight, low power consumption, low cost, high symmetry and high precision. In this paper, the structure of a miniature hemispherical resonant gyroscope is presented, and its working principle and detection method are studied. A scheme of angular velocity integral working mode of digital MEMS hemispherical resonant gyroscope and its FPGA implementation method are designed. In order to complete the current MEMS hemispherical resonator gyroscope angular velocity integration mode control and detection work.
【作者单位】： 上海航天控制技术研究所惯性工程技术研究中心;上海交通大学电子信息与电气工程学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海市北斗导航与位置服务重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金项目(61574093) 中国航天科技创新基金项目CASC(11GFZ-JJ01-309) 教育部新世纪人才资助计划项目(NCET-10-0583) 科学基金项目(2013ZC57003) 预研基金项目(9140A14010511JW0304) 国家重点实验室基金项目(9140C790405110C7904)
【分类号】：V441;TH-39

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本文编号：2036411