MEMS加工技术综合性实验

发布时间：2018-10-07 21:04

【摘要】：为了满足微电子学以及仪器科学与技术等专业实践教学与人才培养的需要,以MEMS加速度开关为应用对象,开展MEMS加工技术综合性实验研究。根据MEMS加速度开关的结构特点,设计加工工艺流程;以MEMS工艺理论知识为基础,结合实践教学,开展湿法腐蚀、阳极键合、ICP刻蚀等关键加工工艺研究,完成MEMS加速度开关原理样品的研制。该实验从器件结构、加工工艺到测试分析,简单直观,有利于学生全面掌握MEMS加工工艺,培养学生的科研兴趣和实践能力。
[Abstract]:In order to meet the needs of practical teaching and personnel training in microelectronics and instrument science and technology, a comprehensive experimental study on MEMS processing technology was carried out with MEMS acceleration switch as the application object. According to the structural characteristics of MEMS acceleration switch, the process flow is designed, and the key processing techniques, such as wet etching and anode bonding etching, are studied based on the theoretical knowledge of MEMS process and practical teaching. The development of MEMS acceleration switch principle sample is completed. The experiment is simple and intuitionistic from device structure, processing technology to test and analysis. It is helpful for students to master MEMS processing technology and cultivate students' interest in scientific research and practical ability.
【作者单位】： 重庆大学光电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金专项基金科学仪器基金项目(61327002) 重庆大学教改项目(2015Y19)
【分类号】：TH-39

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2255664