热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展

发布时间：2019-07-07 19:29

【摘要】：基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状,重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度,对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。
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图片说明：图１热敏式微传感器工作原理示意图Ｆｉｇ．１Ｓｃｈｅｍａｔｉｃｖｉｅｗｏｆｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｓｅｎｓｏｒｓｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅ通过强制对流传热到流体中的热量为：
[Abstract]:The thermal sensitive microsensor based on MEMS technology provides an important means for the measurement of wall shear stress. In this paper, the research and development status of thermal sensitive wall shear stress microsensor technology at home and abroad is introduced. the working principle, the structure, key technology and performance test of different thermal sensitive microsensors are analyzed from the point of view of silicon based and flexible polymer based microsensors.
【作者单位】： 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ040911)
【分类号】：TH-39;TP212

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2511384