电子动态调控的飞秒激光表面微纳结构可控制造新方法及其应用

发布时间：2020-04-23 16:58

【摘要】：正微纳制造技术是高端制造业发展的重要分支之一,为高端装备、集成电路、新能源、新材料、生物医药等领域提供了关键的技术支撑。飞秒激光微纳制造技术是微纳制造的最理想方法之一,是多个领域核心部件关键制造技术瓶颈问题的重要解决途径。在飞秒激光微纳制造领域,激光诱导材料损伤是一个研究重点,蕴含着丰富的物理意义。其中,激光诱导表面周期性结构(1aser-induced periodic surface structure,LIPSS/ripple)是一个普遍的现象。自激光器问世以来,人们在激光辐照过的材料表面观察到了这种具有一定周期和方向的表面微纳结构,并成为一种新的微纳结构制备技术。由于具有特定尺寸形状和排

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本文编号：2637946