雨滴形流管无阀压电泵的研究

发布时间：2021-10-13 19:10

　　无阀压电泵结构简单,无电磁干扰,在生化分析、流体输送、芯片冷却等微机电系统中具有广阔的应用前景。随着技术装备的发展,对无阀压电泵的可靠性、稳定性、流量控制精度提出了愈来愈高的要求。以锥形流管为代表的无阀压电泵存在流量小、湍流大、输出压力低、回流严重等问题,其中湍流是能量损耗的主因。研究泵送介质在压电振子作用下与容积腔壁的耦合作用规律,建立利于单相流动的容积腔几何形状,降低湍流带来的能量损耗,是无阀压电泵实现商业化、实用化的基础工作。雨滴的形状是在空中降落时受到重力、表面张力、空气阻力和浮力综合作用的结果,本质上是面力与体力达到平衡的状态。压电泵中液体在惯性力、切向力、流动阻力的作用下最终获得单向流动,本质上也是体力与面力的平衡,如果将型腔做成雨滴的形状,可能获得液体与壁面均匀的作用力,降低湍流强度,进而减小能量损失。寻着这个思路,课题组提出了雨滴形流管无阀压电泵。主要研究内容包括:为研究雨滴形流管无阀压电泵的可行性,本文对该泵进行了以下几个方面的研究:（1）根据雨滴的固有特性创新性地提出了一种雨滴形流管无阀压电泵,并分析了其工作原理及对压电振子进行振动理论分析。（2）对压电振子进行了模... 

【文章来源】：广州大学广东省

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

扩张/收缩无阀流体泵Fig.1-1Valvelessdiffuser/nozzle-basedfluidpump1995年，德国的TorstenGerlach等人首次制作出硅基锥形无阀压电泵[21]

最大流量为2.3ml/min,最大泵压为7.6m水柱。同年，新加坡的Dr Tay Eng Ho等人利用光刻和微加工技术制作了并联双腔锥形流管无阀压电泵[23]，同时利深活性离子蚀刻技术和阳极键合技术制作了深度为 0.3mm 的扩张与收缩管及腔流道，该泵的压差可以达到 105mm H2O。如图 1-4。

最大流量为2.3ml/min,最大泵压为7.6m水柱。同年，新加坡的Dr Tay Eng Ho等人利用光刻和微加工技术制作了并联双腔锥形流管无阀压电泵[23]，同时利深活性离子蚀刻技术和阳极键合技术制作了深度为 0.3mm 的扩张与收缩管及腔流道，该泵的压差可以达到 105mm H2O。如图 1-4。


本文编号：3435249