Mn-Zn铁氧体烧结推板窑液压传动系统稳定性研究

发布时间：2021-11-24 00:49

　　Mn-Zn铁氧体广泛应用于大规模集成电路等电子元器件,其制备设备的研制对于我国大规模集成电路的产业化具有重要意义。Mn-Zn铁氧体烧结推板窑是一种在氮气气氛保护下烧结铁氧体的连续式推板隧道窑（以下简称连续式氮窑）。作为连续式氮窑的驱动系统,液压传动系统的稳定性直接决定了铁氧体的性能,是连续式氮窑研发的关键任务。本文针对目前连续式氮窑液压传动系统中存在的稳定性问题,从主推进油缸低速稳定性、内外闸门保压压力稳定性、油温稳定性以及循环控制周期稳定性等四个方面开展研究,从而提高铁氧体性能的一致性及合格率。主要研究工作与结论如下：（1）分析主推进油缸2FRM6型调速阀的特性,确定调速阀流量特性。在此基础上,分析主推进油缸动态特性及其爬行机理,以此给出油缸爬行抑制措施。实验结果表明,爬行现象得到了较好的抑制,油缸低速运行稳定。（2）设计液压锁和蓄能器相结合的保压回路,并对其关键元器件——皮囊式蓄能器进行设计选型。实验结果表明,蓄能器参与保压回路极大地提高了闸门的密封性能。（3）分析油温对液压传动系统的影响以及液压系统发热和散热情况。在此基础上,依据油液恒温系统的总体设计,计算油箱容积,并对其关键元... 

【文章来源】：国防科技大学湖南省 211工程院校 985工程院校

【文章页数】：61 页

【学位级别】：硕士

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摘要
ABSTRACT
第—章 绪论
    1.1 课题的背景与意义
    1.2 国内外研究现状
        1.2.1 连续式氮窑液压传动系统基本概况
        1.2.2 连续式氮窑液压传动系统的发展
    1.3 研究思路和内容安排
        1.3.1 问题提出
        1.3.2 研究思路
        1.3.3 内容安排
第二章 主推进油缸低速稳定性设计
    2.1 2FRM6型调速阀特性分析
        2.1.1 调速阀工作原理
        2.1.2 调速阀静态特性
        2.1.3 调速阀动态特性
    2.2 主推进油缸动态特性分析
        2.2.1 主推进油缸液压基本回路
        2.2.2 带管道油缸动态特性
        2.2.3 油缸爬行机理分析
        2.2.4 主推进油缸爬行抑制措施
    2.3 主推进油缸工进实测结果分析
    2.4 本章小结
第三章 闸门保压回路设计
    3.1 液压保压回路类型
    3.2 闸门液压保压回路设计
    3.3 蓄能器设计选型
        3.3.1 皮囊式蓄能器容量计算
        3.3.2 蓄能器放液体积计算
        3.3.3 蓄能器容量计算
    3.4 闸门实际保压效果测试分析
    3.5 本章小结
第四章 油液恒温系统设计
    4.1 油温对液压传动系统影响分析
        4.1.1 油温过高的影响
        4.1.2 油温过低的影响
    4.2 液压传动系统发热和散热分析
        4.2.1 液压传动系统发热
        4.2.2 液压传动系统散热
    4.3 油液恒温系统设计
        4.3.1 油温控制系统总体设计
        4.3.2 油箱容积计算
        4.3.3 油冷却器设计选型
        4.3.4 油加热器设计选型
    4.4 油液恒温系统控温实验验证
    4.5 本章小结
第五章 液压循环控制系统设计
    5.1 液压循环PLC控制系统
        5.1.1 PLC控制系统组成
        5.1.2 PLC控制系统基本原理
        5.1.3 PLC控制系统方案设计
    5.2 主推进油缸快转慢间距恒定设计
        5.2.1 方案设计
        5.2.2 软件设计
    5.3 隔离仓清洗时间设计
    5.4 主推进油缸动作间隔时间设计
    5.5 循环周期测试结果
    5.6 本章小结
结束语
致谢
参考文献
作者在学期间取得的学术成果



本文编号：3514957