S型折叠式微悬臂梁刚度仿真与测试

发布时间：2024-01-30 08:42

　　为弥补现有测试微悬臂梁刚度方法中存在的不足,采用准LIGA工艺加工了一种S型折叠式微悬臂梁,对其x向和y向的刚度进行了仿真;采用自行设计并制作的刚度测试系统对该微悬臂梁进行了测试,测试结果与仿真结果的相对误差低于2%。研究结果表明:利用所设计的测试系统测试微悬臂梁刚度具有较高的准确性,为微悬臂梁进一步的优化设计和工艺改进提供了一种有效的分析手段。

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图1微悬臂梁电子显微镜照片

图2y向位移云图

图3微悬臂梁x向位移云图

图4微悬臂梁刚度测试系统

本文编号：3889826