精密气浮工作台动态特性仿真与优化

发布时间：2017-05-31 04:07

  本文关键词：精密气浮工作台动态特性仿真与优化，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：为提高精密气浮工作台的工作性能,在分析气浮轴承承载特性的基础上,对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型,创建模型的设计变量与目标变量,编写目标变量评价程序,使用Isight集成了优化仿真模型,优化了设计变量,提高了工作台的稳定性,缩短了工作台的收敛时间。优化结果表明:对工作台的优化设计改善了工作台的稳定性,减小了工作台在步进扫描过程中的收敛时间与振幅。
【作者单位】： 中国工程物理研究院材料研究所;
【关键词】： 精密气浮工作台 动态特性 参数优化
【分类号】：TH703;TH133.3
【正文快照】： 精密气浮工作台由于具有运动精度高、动力学性能优良、清洁等优点广泛运用于超精密仪器与设备,其典型运用便是为IC产业核心设备之一的光刻机提供纳米级运动与定位精度。作为光刻机的核心子系统,工作台的动力学性能与动态特性对光刻机的精度影响至关重要。在精密气浮工作台工作

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 王海卫,廖杏黄,裴先登;高性能光盘系统径向动态特性数学模型研究[J];华中科技大学学报(自然科学版);2005年11期

2 徐炳楠 ,应闰兰 ,郑怀欧;用正交同步补偿法研究旋转轴系的动态特性[J];同济大学学报;1982年03期

3 王丽芳;车辆动态特性场的研究[J];公路交通科技;1999年01期

4 李国顺,文振华,傅勤毅,曾韬;主动控制空气支承动态特性的研究与优化[J];机械工程学报;2002年05期

5 吴爱祥;古德生;;振动场中松散矿石动态特性的研究[J];中南矿冶学院学报;1991年03期

6 周志娟;;影响液压机械无级变速器动态特性三个因素分析[J];科技资讯;2012年14期

7 丛明;王贵飞;刘东;宋健;董欣胜;;高速卧式镗铣加工中心立柱动态特性有限元分析[J];组合机床与自动化加工技术;2011年08期

8 张克仁,颜景平;包装箱跌落过程中的动态特性[J];包装工程;1989年04期

9 白美卿，高富强;关于炉温动态特性的分析[J];冶金自动化;1994年04期

10 章银根，经以广，王可;如何预测大型设计机床的动态特性[J];机械设计与制造;1996年03期

中国重要会议论文全文数据库 前5条

1 李晓舟;孙拂晓;;细长件加工动态特性的研究[A];科技创新与节能减排——吉林省第五届科学技术学术年会论文集（上册）[C];2008年

2 肖世富;杜强;胡绍全;向荣山;徐有刚;;离心场中结构单元的动态特性[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年

3 谷卓伟;金孝刚;张清福;孙悦;;高温下HR-2抗氢钢的动态特性[A];中国工程物理研究院科技年报（1999）[C];1999年

4 顾元宪;亢战;张洪武;;结构动态特性响应优化设计的数值方法[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年

5 曹宗杰;鲍海利;;不同装载方案对某型运输飞机动态特性影响的研究[A];现代振动与噪声技术（第九卷）[C];2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 何极峰;基于单片机的可配置动态特性补偿滤波器设计与应用研究[D];南京理工大学;2016年

2 李晴朝;基于“S”形检验试件的机床动态特性与加工精度关系分析[D];电子科技大学;2016年

3 周洁;柴油机曲轴主动再制造特征参数分析方法[D];合肥工业大学;2016年

4 唐天新;带式输送机的动态分析及工艺优化研究[D];山东大学;2016年

5 肖毅川;考虑结合面特性的多段梁结构动态特性的研究[D];北京工业大学;2010年

6 刘宗山;机械固定结合面动态特性及建模研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

7 陈中青;基于有限元方法的结合面动态特性参数辨识及应用研究[D];北京工业大学;2012年

8 苏厚军;冲压类机械动态特性和故障诊断问题的研究[D];华中科技大学;2004年

9 王松涛;典型机械结合面动态特性及其应用研究[D];昆明理工大学;2008年

10 卢丽;高速大惯量取样装置过渡过程动态特性的分析与研究[D];郑州大学;2009年

  本文关键词：精密气浮工作台动态特性仿真与优化，由笔耕文化传播整理发布。

，

本文编号：408593