静电驱动组合柔性结构的变形分析与实验验证

发布时间：2017-08-30 03:23

  本文关键词：静电驱动组合柔性结构的变形分析与实验验证

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【摘要】：针对静电驱动组合柔性结构的变形进行分析,考虑静电力分布载荷的基本特征、静电力与组合柔性结构变形之间的耦合作用,依据静电场理论、伪刚体理论以及非线性柔性模型,给出分析不同电压下求解组合柔性结构变形的一般方法,同时给出静电吸合电压的计算式。设计加工了MEMS组合柔性结构,采用文中方法分析静电驱动中组合柔性结构的变形,同时搭建实验测试系统,确定电压加载范围,完成组合柔性结构的变形测试。将实验测试结果与理论计算结果进行对比分析,验证文中分析方法的正确性。
【作者单位】： 廊坊师范学院数学与信息科学学院;燕山大学环境与化学工程学院;
【关键词】： 静电驱动 组合柔性结构 变形 静电吸合 实验测试
【基金】：河北省教育厅重点课题(ZD2015108) 廊坊师范学院博士基金项目(LSLB201501)
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 0引言MEMS柔性结构主要用于定位精度要求较高的小范围运动[1]。柔性铰链、柔性梁(杆)是两种最基本的柔性结构类型,二者组合构成组合柔性结构[2],是微致动器、微传感器等微器件中最常采用的一种结构类型。MEMS柔性结构,由于尺度效应和表面效应的影响,常规的驱动加载方式不宜直

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本文编号：756999