基于声表面波形状记忆合金微阀研究

发布时间：2017-09-17 06:00

  本文关键词：基于声表面波形状记忆合金微阀研究

  更多相关文章： 微阀 形状记忆合金 声表面波 微通道 微流器件

【摘要】：研制了一种声表面波控制的形状记忆合金微阀。在128°YX-LiNbO3基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热压电基片上石蜡油,使弯曲的形状记忆合金线伸展,促使与其连接的聚二甲基硅氧烷微通道壁发生形变,截止微通道,实现微阀从开态向关态转变。撤除电信号,形状记忆合金线温度下降,恢复软性,在硬质塑料薄片的恢复力作用下,微阀重新由关态转为开态。以流体输运为实验对象进行微阀开关实验,结果表明,声表面波可有效控制形状记忆合金微阀的开关操作,在28.5dBm电信号功率作用下,微阀关闭时间为40.4s。
【作者单位】： 苏州信息职业技术学院通信与信息工程系;常州工学院电气与光电子工程学院;
【关键词】： 微阀 形状记忆合金 声表面波 微通道 微流器件
【基金】：常州工学院科研基金资助项目(YN1404) 江苏省创新基金资助项目(201511055039X)
【分类号】：TG139.6;TH134
【正文快照】： 0引言微流分析系统因具有体积小,分析速度快,试剂消耗量少等优点,日益成为分析领域的研究热点[1-4],在细胞工程、蛋白质分析、环境监测、毒品检测和食品安全等领域获得广泛应用[5-7]。微阀是工作在连续流模式的微流系统不可缺少组成单元,它控制微流的流向及输运。根据微流驱动

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本文编号：867649