开放式半导体微纳加工实验室危化品管理体系的规范化建设

发布时间：2023-04-16 15:24

　　开放式半导体微纳加工实验室具有工艺种类多、工艺复杂、工艺流程长等特点,在工艺过程中所涉及的化学品及特种气体种类多、易燃易爆试剂用量大、危险性高等,因此,对这类实验室的安全管理提出了更高的要求。根据这类实验室的特点,该文针对开放式微纳加工实验室的危化品规范化管理进行了探讨,为实验室安全运行打下了很好的基础。

【文章页数】：4 页

【文章目录】：
1 半导体微纳加工实验室危化品分类
    1.1 常用化学试剂
    1.2 常用气体
    1.3 废弃物分类
2 危化品管理体系的规范化探索
    2.1 提高安全意识，加强安全宣传与培训力度
    2.2 排查隐患，加强特种气体及危化品管理
    2.3 加强废弃物管理，保障废弃物回收安全
    2.4 合理分区，完善设施配备，加强规范管理
    2.5 建立安全责任管理体系，做到责任到人
3 结语



本文编号：3791515