小电流校准检定系统建立及不确定度评定

发布时间：2017-10-11 18:52

  本文关键词：小电流校准检定系统建立及不确定度评定

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【摘要】：小电流测量仪器在航空航天测控、半导体集成电路测试、核试验测试及其他研究领域中应用较多,并且发挥着很重要的作用。由于小电流测量仪器精度高,分辨率达到f A级,小电流测量仪器的校准、检定就显得尤为困难。本文论述了利用Keithley的5156精密高阻和Fluke5520A多功能源组成的小电流测量仪校准、检定系统。针对该校准系统,分析了校准过程的不确定度来源,依据相关标准进行了不确定度评定,结果证明组建的小电流测量仪校准系统是可靠的。该系统完全可以满足各种小电流测量仪的校准、检定工作。
【作者单位】： 西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室;
【关键词】： 小电流测量仪 校准系统建立 不确定度评定
【基金】：国家自然科学基金青年基金(D11305129)
【分类号】：TM933.1
【正文快照】： 随着科研试验测量技术的发展,小电流测量仪器在航空航天测控、半导体集成电路测试、核试验测试及其他研究领域中使用越来越多,并且发挥着很重要的作用。正是因为各领域的需求,高精度高分辨力的小电流测量仪被大量使用,例如Keithley公司的6517A、6517B、6487等小电流测量仪,仪

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本文编号：1014157