基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工

发布时间：2017-10-18 06:25

  本文关键词：基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工

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【摘要】：随着元器件的微型化、精密化发展,对快速微细加工提出了巨大需求。基于准分子激光微细加工技术,以串行加工方式加工了X光掩膜板图形结构和压电陶瓷(PZT)微结构。研究了波长为248 nm KrF准分子激光微细加工技术的最优加工条件,获得了高质量的X光光刻用的掩膜板和PZT微结构。基于X光掩膜板,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为光刻胶进行X光光刻,获得了高深宽比的六角形蜂窝微结构。通过输入不同的加工参数来激光加工PZT基板,获得了加工参数与PZT基板加工深度的关系。通过对加工好的PZT微结构和六角形蜂窝微结构的测试,结果表明利用准分子激光器可实现快速微细加工的目的。
【作者单位】： 上海应用技术学院理学院;日本立命馆大学微系统系;
【关键词】： 微细加工 准分子激光 X光光刻 X光掩膜板 压电陶瓷(PZT)
【基金】：国家自然科学基金重点项目(51035005) 上海市联盟计划资助项目(LM201441) 上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005);上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03)
【分类号】：TM282
【正文快照】： 0引言为满足科学技术日益发展的需要,元器件正在朝微型化和精密化方向发展。不同于传统加工,先进制造技术如微电子机械系统(MEMS)技术,激光微细加工技术正是在这样的背景下蓬勃发展的。激光微细加工是透过空气、惰性气体和透明体对工件实现加工,是一种无接触加工的先进制造技

【参考文献】

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本文编号：1053435