基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器

发布时间：2017-10-22 06:15

  本文关键词：基于八悬臂梁-中心质量块结构MEMS压电振动能量采集器

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【摘要】：高能量密度输出、低频范围响应、环境适应性强的自供电振动能量采集器已成为微能源技术领域的一个重要发展方向。提出一种d31型工作模式下MEMS压电式振动能量采集器,设计八悬臂梁-中心质量块结构代替传统的单悬臂梁结构,利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)技术在每个悬臂梁上异质集成制备锆钛酸铅(Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47)O_3,PZT)压电功能厚膜层,通过MEMS工艺和引线键合技术完成器件础结构制造。输出性能测试结果表明,器件一阶谐振频率为41 Hz,3 gn加速度激励下输出电压峰峰值为264.00 m V;在器件两端加载3.00 MΩ负载时输出功率最大,为0.72 n W。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学计算机与控制工程学院;
【关键词】： MEMS 压电 微加工 能量采集 输出功率
【基金】：国家自然科学基金项目(51422510;51175483;61401406) 国家863计划项目(2015AA042601)
【分类号】：TM619
【正文快照】： 随着微电子技术的日趋发展和成熟,微机电系统(MEMS)、无线传感系统、嵌入式系统、无线通讯等技术在民用和军事方面得到了广泛应用[1]。这些系统中电子元件数量众多、分布复杂,对其更换供能电池很不方便,且成本较高。因此,研制一种体积小、寿命长、环境适应性强、能量密度和转

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本文编号：1077085