声学梳谱信号产生器件的探索

发布时间：2018-05-27 10:34

  本文选题：声学 + 梳谱信号　； 参考：《压电与声光》2015年06期

【摘要】：介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。
[Abstract]:This paper introduces the principle, design and fabrication method of the high order harmonic bulk acoustic wave resonator which can generate comb spectrum signal in the UHF frequency band of about 10GHz. The resonator with Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au dual-terminal structure is designed. The quality factor of the sample at the resonant frequency of 2.240 137GHz is up to 23000. Further research on zinc oxide film forming technology is carried out to realize the modification of HBAR design and raise the Q value of the device.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第二十六研究所;
【分类号】：TM935

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本文编号：1941686