激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展

发布时间：2017-10-10 10:39

  本文关键词：激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展

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【摘要】：微纳光子结构研究随着光子学、半导体物理学及微加工技术的发展而逐渐蓬勃开展,并在其结构、理论、制备技术等方面取得了系列进展。受限于目前的微加工技术水平,要成功制备大尺度、高质量的光子材料仍然存在着一定挑战。激光全息光刻技术作为一种简便快捷的微结构制作技术已经发展成为一种经济快速制作大面积微纳超材料及光子晶体模板的重要手段。介绍了激光全息光刻技术的原理,详细阐述了该技术在制作三维面心立方、木堆积结构、金刚石结构光子晶体以及光学周期类准晶、手性超材料、周期性缺陷结构等微纳光子结构中的应用研究进展。激光全息光刻技术成功制作微纳光子结构为光子材料在更多领域的广泛应用提供了基础和方法。
【作者单位】： 青岛科技大学数理学院;山东省新型光电材料与技术工程实验室;香港科技大学物理系;
【关键词】： 微纳光子结构 激光全息光刻 光子晶体 超材料
【基金】：国家自然科学基金项目(11274189,61405101) 山东省高等学校科技计划项目(J14LJ06) 山东省自然科学基金项目(ZR2014FP012)资助
【分类号】：TN249
【正文快照】： 3.香港科技大学物理系,中国香港引言微纳光子结构随着光子学、半导体物理学及微加工技术的发展而逐渐蓬勃开来。能够有效调控光子运动的光子结构,诸如手性材料[1](chiral materials)、光子晶体[2-3](pho-tonic crystals)、负折射率材料[4](negative refraction indexmaterials

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本文编号：1005902