基于自适应测量步长的激光调阻控制策略

发布时间：2017-12-03 06:20

  本文关键词：基于自适应测量步长的激光调阻控制策略

  更多相关文章： 激光修调 自适应测量步长 控制策略 刻蚀路径

【摘要】：针对0603型片式电阻在不同位置的阻值变化率不同,提出了基于自适应测量步长的激光调阻控制策略。这种调阻控制策略可根据当前阻值与目标值的偏差百分比自适应选择测量步长。经过实验分析,与固定测量步长的控制策略相比,这种控制策略不仅能够保证激光修调精度也能提高激光修调效率。为了使这种控制策略能够广泛应用于不同电阻型号的激光修调,介绍了自适应测量步长控制策略的建模过程,在不了解刻蚀路径对阻值变化率的影响时可建模之后再应用这种控制策略。
【作者单位】： 北京奥依特科技有限责任公司;
【分类号】：TN249
【正文快照】： 1引言激光调阻作为一种非接触加工,具有速度快,精度高的优点,广泛应用于厚薄膜电路等电子加工行业[1]。其工作原理为利用激光切割改变电阻导电截面积,从而把低于目标值的电阻修调到误差范围内。影响激光修调精度的因素有激光功率、激光光斑,光斑重叠率,测量精度,修调路径和控

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本文编号：1247741