电荷驱动在高速压电致动平台中的应用

发布时间：2018-01-30 23:28

  本文关键词： 压电驱动平台 非对称致动器 惯性力 率相关迟滞 电荷驱动　出处：《压电与声光》2017年06期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：一个高速压电驱动平台的性能经常被支撑结构的低谐振频率所限制。采用一种非对称致动器可消除传到基座上的惯性力,但传统的电压驱动方法会引起严重的率相关迟滞,惯性力补偿效果不佳。该文提出采用电荷驱动法来消除非对称致动器产生的惯性力。实验表明,在激励电压峰-峰值为20V时,采用电荷驱动法,在110Hz~10kHz内惯性力基本消除,补偿效果比电压驱动方法好。
[Abstract]:The performance of a high speed piezoelectric platform is often limited by the low resonant frequency of the supporting structure. An asymmetric actuator is used to eliminate the inertial force transmitted to the base. However, the traditional voltage drive method can cause serious rate dependent hysteresis, and the inertial force compensation effect is not good. In this paper, a charge drive method is proposed to eliminate the inertia force generated by asymmetric actuator. When the peak value of excitation voltage is 20 V, the inertial force is basically eliminated at 110 Hz / 10 kHz by using the charge drive method, and the compensation effect is better than that of the voltage drive method.
【作者单位】： 中国科学技术大学工程科学学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51175488) 国家科技支撑计划资助项目(2015BAK34B02)
【分类号】：TN384
【正文快照】： 0引言压电致动器因具有紧凑的结构、较大的刚度和较快的响应速度,被广泛应用于各种微定位平台上。对于具有大带宽的高速压电驱动平台,一般设计小尺寸的致动器来获得高谐振频率。但用于安装致动器的支撑底座由于各种非理想因素的影响,经常呈现很低的谐振频率[1]。低频时,基座的

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本文编号：1477528