全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究

发布时间：2018-02-10 17:29

  本文关键词： 探针台 传输系统 预对准　出处：《电子工业专用设备》2016年12期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：提出了一种硅片传输系统的预对准算法,根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性,计算出圆心坐标和切边位置,实现硅片的预对准。经过实验验证,该算法有效提高了预对准的可靠性和稳定性。
[Abstract]:A prealignment algorithm for silicon wafer transmission system is proposed. According to the edge voltage data collected by linear CCD and the inherent characteristics of manipulator, the center coordinates and edge cutting position are calculated, and the pre-alignment of silicon wafer is realized. This algorithm effectively improves the reliability and stability of pre-alignment.
【作者单位】： 中国电子科技集团公司第四十五研究所;
【分类号】：TN304.12

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本文编号：1501053