硅基中长波红外减反微结构研究

发布时间：2018-05-10 06:37

  本文选题：Si基微结构 + RCWA　； 参考：《红外与激光工程》2017年04期

【摘要】：采用微加工工艺在Si衬底上制备了微柱和微锥阵列,结合光学建模分析,研究了结构参数对中长波(2.5~9μm)红外光反射率的影响规律。使用严格耦合波分析方法(RCWA)计算的微结构反射光衍射效率与傅里叶红外变换光谱仪(FTIR)测试的反射率结果吻合较好。研究结果表明,Si基微结构对TM及TE偏振光均有良好的红外光减反特性,微锥结构具有更好的减反效果,2.5~6.5μm中红外偏振光的反射率低至2%,同时表现出良好的宽谱与广角度减反特性。
[Abstract]:Microcolumns and microtaper arrays were fabricated on Si substrates by microfabrication. The effect of structural parameters on infrared reflectance of medium long wavelength (LWV) 2.59 渭 m was studied by optical modeling and analysis. The diffraction efficiency calculated by using the strictly coupled wave analysis method (RCWA) is in good agreement with the reflectivity measured by Fourier transform Spectrometer (FTIR). The results show that Si-based microstructures have good infrared light reflectivity to TM and te polarized light, and microcone structure has better antireflection effect. The reflectivity of infrared polarized light in 2.5 渭 m is as low as 2. 5 渭 m. At the same time, it shows good wide spectrum and wide angle reflectance reduction characteristics.
【作者单位】： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;
【基金】：中科院百人计划(Y6BEQ11001)
【分类号】：TN21

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本文编号：1868222