基于正交偏振双纵模的氦氖激光器纳米测尺系统

发布时间：2018-05-11 17:40

  本文选题：正交偏振 + 频率分裂　； 参考：《应用光学》2017年02期

【摘要】：提出一种基于正交偏振双纵模的氦氖激光器纳米测尺系统,将双折射元件插入He-Ne激光器谐振腔内产生频率分裂效应,使激光器变成了频差可调的双频激光器。运用频率分裂、模竞争、双纵模功率调谐等激光物理效应和设定浮动阈值,研制了新型的激光器纳米测尺。以激光波长为尺子,具有可溯源性,在没有任何电细分的条件下达到了纳米量级的分辨率,与激光干涉仪的比对实验表明,该系统的分辨率为79nm,量程为15mm,线性度为5.4×10~(-5),标准差为380nm。
[Abstract]:A He-Ne laser nanometer system based on orthogonal polarization dual longitudinal mode is proposed. The birefringent element is inserted into the resonator of He-Ne laser to produce frequency splitting effect, which makes the laser become a dual-frequency laser with adjustable frequency difference. Based on the laser physical effects such as frequency splitting, mode competition, dual longitudinal mode power tuning and setting floating threshold, a new type of laser nanometer has been developed. With the laser wavelength as the ruler, the system has traceability and reaches nanometer resolution without any electrical subdivision. The comparison experiment with the laser interferometer shows that the system has a resolution of 79 nm, a measuring range of 15 mm, a linearity of 5.4 脳 10 ~ (-1) -5 ~ (-1) and a standard deviation of 380 nm.
【作者单位】： 南通大学机械工程学院;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51375262,61475082) 国家重大仪器专项(2011YQ04013603) 北京市科委项目(Z151100002415027)
【分类号】：TN249

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本文编号：1874925