石墨衬底上铝诱导法制备多晶硅薄膜

发布时间：2018-05-25 09:31

  本文选题：磁控溅射 + 铝诱导　； 参考：《人工晶体学报》2017年09期

【摘要】：利用磁控溅射技术在石墨衬底上制备了石墨/a-Si/Al和石墨/Al/a-Si叠层结构,采用常规退火(CTA)和快速热退火(RTA)对样品进行退火,系统研究了不同退火条件对多晶硅薄膜制备的影响。利用X射线衍射(XRD),拉曼光谱(Raman)对制备的多晶硅薄膜进行表征,并利用谢乐公式计算了晶粒尺寸,结果表明制备的多晶硅薄膜具有高度(111)择优取向,结晶质量良好,利于后续外延制作多晶硅厚膜电池。基于实验结果,建立了铝诱导晶化模型,很好的解释了实验现象。
[Abstract]:Graphite /a-Si/Al and graphite /Al/a-Si laminated structures were prepared by magnetron sputtering on graphite substrate. The samples were annealed by conventional annealing (CTA) and rapid thermal annealing (RTA). The effects of different annealing conditions on the preparation of polysilicon thin films were systematically studied. X ray diffraction (XRD), and Raman spectroscopy (Raman) were used to prepare polycrystalline silicon thin films. The film was characterized and the grain size was calculated by the Xie Le formula. The results showed that the prepared polysilicon film had a high (111) preferred orientation and good crystallization quality, which was beneficial to the subsequent epitaxy of polysilicon thick film batteries. Based on the experimental results, the aluminum induced crystallization model was established, which explained the experimental phenomenon well.
【作者单位】： 华北电力大学可再生能源学院;北京科技大学材料科学与工程学院;
【基金】：北京市自然科学基金(2151004) 中央高校基本科研业务费专项资金(2016MS50)
【分类号】：TN304.12

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 黄创君,林璇英,林揆训,余楚迎,姚若河;低温制备高质量多晶硅薄膜技术及其应用[J];功能材料;2001年06期

2 张宇翔,卢景霄,杨仕娥,王海燕,陈永生,冯团辉,李瑞,郭敏;快速光热退火制备多晶硅薄膜[J];半导体光电;2005年02期

3 张丽伟;赵新蕖;卢景霄;郜小勇;陈永生;靳瑞敏;;对柱状多晶硅薄膜的制备研究[J];人工晶体学报;2006年05期

4 刘伟;高斐;方晓玲;王建军;张佳雯;晏春愉;;铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜[J];现代显示;2008年Z1期

5 王丽春;张贵锋;侯晓多;姜辛;;金属Cu诱导层对热丝法制备多晶硅薄膜微结构的影响[J];功能材料与器件学报;2009年03期

6 张国炳,郝一龙,田大宇,刘诗美,王铁松,武国英;多晶硅薄膜应力特性研究[J];半导体学报;1999年06期

7 饶瑞,徐重阳,曾祥斌,王长安,赵伯芳,周雪梅;微波退火法制备多晶硅薄膜的电学特性研究[J];压电与声光;2002年03期

8 夏冬林;杨晟;徐慢;赵修建;;金属铝诱导法低温制备多晶硅薄膜[J];感光科学与光化学;2006年02期

9 袁志军;楼祺洪;周军;董景星;魏运荣;王之江;;激光晶化制备多晶硅薄膜技术[J];激光与光电子学进展;2007年11期

10 靳瑞敏;郑小燕;陈兰莉;卢景霄;;在不同温度下退火制备多晶硅薄膜的研究[J];南阳理工学院学报;2009年03期

相关会议论文 前3条

1 姚若河;林璇英;吴萍;余楚迎;林揆训;石旺舟;;PCVD法制备多晶硅薄膜中退火过程的研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年

2 戚丽娜;许高斌;;多晶硅薄膜热扩散率的测试结构[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

3 许高斌;汪家文;;表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

相关博士学位论文 前3条

1 靳瑞敏;中温制备多晶硅薄膜及相关理论问题的探讨[D];郑州大学;2006年

2 王成龙;太阳能电池多晶硅薄膜铝诱导晶化（AIC）机制及工艺控制研究[D];兰州交通大学;2009年

3 黄金英;高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2006年

相关硕士学位论文 前9条

1 王红娟;光热退火制备多晶硅薄膜的研究[D];郑州大学;2006年

2 刘伟;铝诱导晶化制备多晶硅薄膜的研究[D];陕西师范大学;2008年

3 胡佳宝;半导体火工桥用多晶硅薄膜的制备及性能研究[D];合肥工业大学;2012年

4 张坤;多晶硅薄膜场效应结构的晶粒间界能态分布[D];暨南大学;2003年

5 刘丽娟;SiCl_4/H_2为气源沉积多晶硅薄膜的电输运特性的研究[D];汕头大学;2008年

6 林广平;准分子激光相位掩模制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜的研究[D];吉林大学;2012年

7 方晓玲;非晶硅薄膜光学性质的研究及铝诱导晶化法制备多晶硅薄膜[D];陕西师范大学;2008年

8 邝俊峰;Cat-CVD LTPS-TFT制备技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年

9 杨旭;半导体火工桥薄膜及扩磷工艺研究[D];合肥工业大学;2013年

，

本文编号：1932932