退火真空度对Sn-Al共掺杂ZnO薄膜性能的影响

发布时间：2018-09-06 17:03

【摘要】：采用溶胶-凝胶工艺制备出高可见光透过率、低电阻率的Sn-Al共掺杂Zn O透明导电薄膜(ZASO薄膜),分析了退火真空度对薄膜的晶体结构、光电性能的影响。结果表明:真空退火不改变Zn O晶体的本质,但退火真空度对薄膜光电特性有显著影响。退火真空度越高方块电阻越小,在较高真空环境中退火得到的ZASO薄膜方块电阻可低至0.7 kΩ·□-1。高真空退火时,薄膜的透光率较高,可见光平均透过率可达93%左右。
[Abstract]:Sn-Al co-doped Zn O transparent conductive thin films (ZASO thin films) with high visible light transmittance and low resistivity were prepared by sol-gel process. The effect of annealing vacuum on the crystal structure and optoelectronic properties of the films was analyzed. The results show that vacuum annealing does not change the nature of Zn O crystal, but the annealing vacuum has a significant effect on the photoelectric properties of the films. The higher the annealed vacuum is, the smaller the square resistance is, and the lower the square resistance of ZASO film is to 0.7 k 惟 -1 when annealed in a higher vacuum environment. When annealed in high vacuum, the transmittance of the film is higher, and the average transmittance of visible light is about 93%.
【作者单位】： 商洛学院电子信息与电气工程学院;
【基金】：商洛学院科研基金项目(14SKY009)
【分类号】：TN304.2

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 程健,彭辉俊,李春林;真空度动态平衡控制手段和方法的研究[J];机械与电子;2005年06期

2 程健,邬钦崇;一种保持真空室真空度稳定的控制系统[J];真空;1999年05期

3 赵智忠;;用Visual Basic实现电网中开关管真空度的智能化监测[J];电工技术;2001年02期

4 张丽华,李军,邵崇俭;MEMS封装中真空封口及真空度检测技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期

5 王成勇;;真空度随真空管道长度变化规律研究[J];印制电路信息;2014年05期

6 吴琼;;曝光机双玻璃晒架及其真空系统的设计[J];电子工业专用设备;2006年01期

7 刘芳;王珂;;用温度控制仪测量真空度的检定方法探讨[J];热处理;2013年06期

8 王洋;巫庆辉;庞艳伟;;ADC0832在真空度数据检测中的应用[J];电子设计工程;2013年18期

9 黄金彪;童勤义;唐国洪;陈德英;;脉宽调制输出的集成真空度传感器[J];东南大学学报;1992年03期

10 曲建俊;周宁宁;田秀;金龙;徐志科;;真空度对环形行波超声马达驱动特性的影响[J];压电与声光;2008年06期

相关会议论文 前5条

1 陈涛;;提高本钢RH真空度的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年

2 赵庆龙;;RH系统冷凝水对真空度的影响[A];2007年全国RH精炼技术研讨会文集[C];2007年

3 陈哲;;生产线真空系统技术改造[A];“绿色制造 质量管理”——海南省机械工程学会、海南省机械工业质量管理协会2011年会论文集[C];2011年

4 王义芳;吴德忠;张小奇;马力帧;何源;王兵;赵建民;吴翼健;王志学;唐靖宇;赵红卫;;SFC的改进[A];2004学术年会论文集[C];2004年

5 张斌;;环氧浇注混合胶脱泡及浇注真空度的选择[A];第七次全国环氧树脂应用技术学术交流会论文集[C];1997年

相关重要报纸文章 前6条

1 张仕刚 成明扬;速溶豆浆晶的加工[N];湖北科技报;2003年

2 记者 黄敏清　通讯员 罗瑛;广州石化攻克技术难题节能创效[N];中国石化报;2010年

3 ;炉外精炼知识讲座[N];中国冶金报;2003年

4 刘尹;速溶豆浆晶[N];河南科技报;2006年

5 张红普;密封性测试在软包装行业的应用[N];中国包装报;2004年

6 万成志;袋装苜蓿菜的加工技术[N];山西科技报;2001年

相关博士学位论文 前1条

1 刘锐;和面方式对面团理化结构和面条质量的影响[D];中国农业科学院;2015年

相关硕士学位论文 前3条

1 赵智忠;用Visual Basic实现电网中开关管真空度的智能化监测[D];辽宁工程技术大学;2002年

2 崔俊星;基于80C552智能真空度测试仪的设计与实现[D];太原理工大学;2004年

3 吕静雯;制冷系统余热应用于蒸馏水机的技术[D];天津商业大学;2014年

，

本文编号：2226987